濕電子化學(xué)品是歐美及我國臺灣地區(qū)的稱呼（更為普遍），國際上又稱工藝化學(xué)品，我國習(xí)慣稱其為超凈高純試劑，其是超大規(guī)模集成電路、平板顯示、太陽能電池等制作過程中不可缺少的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。其主體成分純度大于 99.99%，雜質(zhì)離子和微粒數(shù)符合嚴(yán)格要求的化學(xué)試劑，是重要的晶圓制造材料之一，2020 年市場規(guī)模占比 4%。主要以上游硫酸、鹽酸、氫氟酸、氨水、氫氧化鈉、氫氧化鉀、丙酮、乙醇、異丙醇等為原料，經(jīng)過預(yù)處理、過濾、提純等工藝生產(chǎn)得到的高純度產(chǎn)品。下游應(yīng)用主要為光伏太陽能電池、平板顯示和半導(dǎo)體三大領(lǐng)域，主要應(yīng)用在集成電路制造的清晰、蝕刻、摻雜、顯影、晶圓表面處理、去膜、去光刻膠等工序中。

 按照用途主要可以將濕電子化學(xué)品分為通用化學(xué)品和功能性化學(xué)品兩類。其中通用化學(xué)品以高純?nèi)軇橹?，例如過氧化氫、氫氟酸、硫酸、磷酸、鹽酸、硝酸等；功能性化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的配方類或復(fù)配類化學(xué)品，主要包括顯影液、剝離液、清洗液、蝕刻液等。由于多數(shù)功能濕化學(xué)品是復(fù)配的化學(xué)品，是混合物，它的理化指標(biāo)很難通過普通儀器定量檢測，只能通過應(yīng)用手段來評價其有效性，近幾年來功能濕化學(xué)品的需求比例明顯增加。簡單的理解就是復(fù)配產(chǎn)品，功能濕電子化學(xué)品指通過復(fù)配手段達(dá)到特殊功能、滿足制造中特殊工藝需求的復(fù)配類化學(xué)品，包括蝕刻液、清洗液、光刻配套試劑等，常用于半導(dǎo)體刻蝕、清洗等工藝中。

 常用的濕電子化學(xué)品以通用化學(xué)品為主，占比達(dá)到 88%，其中過氧化氫、氫氟酸和硫酸需求占比排名前三，占比分別達(dá)到 16.7%、16%和 15.3%；功能性化學(xué)品中主要為顯影液和 MEA 等極性溶液，占比達(dá)到了 4.3%和 3.2%。

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